电子发烧友网的报道(作者/莫婷婷)提到,现在国内的半导体设备行业发展得挺快,不过咱们本土的设备厂商在国内市场的份额还是不高,所以国产替代的空间还很大。大家都知道,国产设备企业主要靠产品的差异化来竞争。到了2025年第一季度结束的时候,好多国内领先的半导体设备企业都陆续公布了最新的财报。从这些财报里能看到,大多数企业在研发投入、产品布局以及客户拓展上都有不错的增长势头。
电子发烧友网整理了北方华创、中微公司、盛美上海、华海清科、拓荆科技、京仪装备、中科飞测、芯源微、耐科装备这九家半导体设备企业的2025年第一季度财报数据。除了拓荆科技、中科飞测和芯源微之外,其他企业大多实现了营收和净利润的增长。其中,盛美上海和华峰测控的表现特别亮眼,净利润分别增长了207.21%和164.23%,是增长幅度最大的两家公司。
图:2025年第一季度半导体设备公司业绩
简单来说,北方华创、中微公司和盛美上海是这次统计里营收最高的三家半导体设备公司。
北方华创这一季度的营收达到了82.06亿元,比去年增长了37.9%。这个增长主要因为他们的电容耦合等离子体刻蚀设备(CCP)、原子层沉积设备(ALD)以及高端单片清洗机等新产品实现了关键技术的突破,能做的工艺种类变多了,而且很多成熟产品的市场占有率也在稳步上升。
随着营收和订单的不断增加,规模效应开始显现,北方华创的净利润也跟着增长了38.8%,达到了15.81亿元。他们预计自己的净利润率还有上涨的空间。
北方华创的集成电路设备涵盖了刻蚀、薄膜沉积、炉管、清洗等多种工艺设备,能满足逻辑、存储等领域客户的各种技术需求。在最近的一次投资者交流会上,北方华创的董事会秘书兼副总裁王晓宁提到,国内存储产线的扩建会让公司的订单快速增长。他们新建的半导体装备台马基地已经建好并投入用了,正好可以应对产能的增长需求。
中微公司第一季度的收入继续快速增长,同比增长了35.40%,达到了21.73亿元。他们家针对高端芯片制造里特别重要的刻蚀工艺的新设备发货量明显增加,比如在先进逻辑芯片和存储芯片的刻蚀工艺上都实现了量产。另外,他们还推出了六款薄膜设备,这些设备已经顺利进入了市场。
盛美上海第一季度收入是13亿,同比增长了42%,净利润达到了2.46亿,同比增长了207.21%。他们家说这个成绩主要靠的是技术上的独特优势,抓住了市场机会,接到了很多订单。而且他们的生产和调试工作进行得非常高效。此外,他们的产品种类也越来越丰富,能够更好地满足客户需求。
盛美上海主要做半导体相关的设备,像是清洗设备、电镀设备、炉管设备、PECVD(一种化学气相沉积设备)、后道封装设备,还有硅片制造设备。特别是他们的炉管设备,现在正在逐渐进入更多内存和逻辑芯片厂商的生产线。
2024年8月,盛美上海推出了一个全新的面板级电镀设备叫Ultra ECP ap-p,这个设备用的是盛美上海自己研发的水平电镀技术,能让面板做到很好的均匀性和精度。盛美上海是最早把水平电镀技术用在面板上的公司之一,靠着这项技术,他们能在面板上实现亚微米级别的先进封装。现在已经有好几家主要的半导体大厂选用了面板作为他们AI芯片封装的方案,所以盛美上海的这款新设备在市场里有很大的机会。
不过从净利润来看,这次统计的几家公司里,盛美上海、芯源微和拓荆科技都出现了净利润下滑的情况。相比起来,盛美上海和芯源微的净利润下降幅度不算太大,但拓荆科技就惨了,在第一季度净利润同比暴跌了1503.33%,直接亏了1.47个亿,“爆雷”了,毛利率也降到了只有19.89%。
拓荆科技在第一季度的财报里也没详细解释太多,只是说那季度卖的新产品和新工艺的设备收入占了近七成,但在客户验证过程里的成本比较高,所以毛利率下降了。另外,净利润下滑还跟他们的高研发投入有关,那个季度研发投入达到了1.59个亿,占营业收入的比例高达22.38%。
不过呢,拓荆科技的收入达到了7.09亿,同比增长了50.22%,在所有企业里头,除了京仪装备,它的收入增长是最明显的,这成绩还是挺不错的。要是接下来能扭亏为盈的话,净利润肯定也会更上一层楼。
再看中科飞测,这个季度的收入是2.94亿,同比增长了24.89%,但是净利润却下降了143.69%。为啥呢?主要是因为研发费用涨得太快了,研发投入了1.2亿,同比增长了64%,占收入的比例达到了40.91%,比去年多了9.75个百分点。
再说芯源微,它是国内做涂胶显影设备和单片湿法设备的老大。这个季度它的归母利润只有466万,同比下降了70%。不过公司也说了,一季度本来就是淡季,对全年的影响不大,而且一季度的新订单情况还不错呢。另外,这个季度芯源微的研发投入增加了4.58个百分点。
半导体设备这个行业啊,可以说是技术含量特别高,花钱也特别多的那种行业。这就导致企业在不断搞技术研发、更新换代产品的时候,钱袋子一直绷得特别紧。
比如除了那三家大公司之外,中微公司这季度的研发投入也因为市场需求变大涨了不少,达到了大约6.87个亿,比去年同一时期多了3.26个亿,增长率接近90.53%。耐科装备的研发投入呢,也比上一年同期涨了57.16%。华海清科更是花了不少钱在新产品的研发和技术改造上,比如他们正在做的离子注入项目,现在已经在逐步推广了。
不过话说回来,这些投入也不是白花的,像盛美上海、芯源微、拓荆科技这些企业,就是因为前期投入了这么多研发资金,才在市场上有了更大的竞争优势。
再看看具体的应用领域,中科飞测在前道制程里,特别是那些高端制程的产品卖得比较好,这就直接带动了一季度的毛利率上涨。而且在新增订单这块,他们在像HBM这种新兴的先进封装领域也得到了不错的市场反馈。从产品种类来看,暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备卖得最好,成了新增订单里占比最高的设备类型,以后可能还会成为新的增长点。从生产工艺来看,高端制程的收入和订单比例也在迅速提高,现在已经超过了50%,成了公司业绩增长的主要动力。
今年4月,中科飞测这家企业宣布,他们家的高端检测设备——明场纳米图形晶圆缺陷检测设备“REDWOOD-900”,又卖给了行业里的大客户。这款设备用的是高数值孔径的镜头(数值孔径NA≥0.95),还搭配了一个超快的图像采集系统,检测精度能达到10纳米级别。它不仅能检测像FinFET、GAA这些先进的晶体管结构,还能检查3D NAND的堆叠层,这在国内的高端检测设备里可是从零到一的突破,填补了国内市场的一大空白。
现在,第三代半导体已经成为全球科技竞争的关键领域,像MOCVD、高温退火炉这些核心设备都很重要。国内做半导体设备的企业也在加大力度研发,准备在这个领域大展身手。
北方华创在第三代半导体SiC(碳化硅)方面的产品线很丰富,比如SiC长晶炉、外延生长设备、刻蚀设备、薄膜沉积设备,还有高温激活/氧化/合金设备、清洗设备等等。在国内市场,北方华创在这块的占有率一直稳居前列。不过呢,SiC长晶炉的国产化率还不高,不到20%,而北方华创的市占率大约是15%。另外,北方华创还在8英寸SiC衬底上实现了无缺陷的超结器件高纵深比沟槽刻蚀(超过5:1),并且成功完成了沟槽栅SiC MOSFET器件的圆角沟槽刻蚀,技术实力杠杠的!